公開(kāi)號(hào) 101228623

公開(kāi)日 20080723

申請(qǐng)人 株式會(huì)社荏原制作所

地址 日本東京

提供了基板處理單元、基板傳送方法、基板洗凈處理單元和基板電鍍?cè)O(shè)備，使得諸如機(jī)器人臂的基板載入機(jī)構(gòu)在載入基板之后快速釋放保持在基板上，從而縮短保持所述基板的時(shí)間并提高流通量。所述基板處理單元包括用于將所述基板保持在特定的保持位置的基板保持機(jī)構(gòu)，以及處理機(jī)構(gòu)，用于將規(guī)定的處理施加至由所述基板保持機(jī)構(gòu)所保持的所述基板，其中基板引導(dǎo)機(jī)構(gòu)設(shè)有引導(dǎo)銷(xiāo)，用于將所述基板引導(dǎo)至保持位置附近。所述基板引導(dǎo)機(jī)構(gòu)具有多個(gè)位于保持位置的所述基板外周上的輥，而所述的多個(gè)輥適于通過(guò)從所述基板的側(cè)部將所述基板的周邊支承在所述保持位置的附近而支承所述基板，所述的輥具有一體的結(jié)構(gòu)，所述一體的結(jié)構(gòu)包括大直徑部分以及形成在所述大直徑部分上方的小直徑部分，而大直徑部分的上側(cè)部分具有肩部，以便所述基板在傳送中臨時(shí)地支承在其上，并且所述肩部形成有朝向其外周、向下傾斜的傾斜表面。