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離子注入銅、鎳作為在陶瓷表面化學鍍銅的預處理工藝.pdf

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核心提示:離子注入銅、鎳作為在陶瓷表面化學鍍銅的預處理工藝.pdf

【專利號(申請?zhí)?】200610097592.9

【公開(公告)號】CN101003439

【申請人(專利權(quán))】中國礦業(yè)大學

【申請日期】2006-11-9 0:00:00

【公開(公告)日】2007-7-25 0:00:00

       一種離子注入銅、鎳作為在陶瓷表面化學鍍銅的預處理工藝,屬于在陶瓷表面化學鍍銅的預處理工藝。首先清洗陶瓷表面;將清洗干凈的陶瓷放入至離子注入設備中,對離子注入設備抽真空,對工件進行氣體濺射清洗,進行離子注入;選擇的離子注入元素為銅、或鎳、或鐵,注入的能量為:6KeV 30KeV,注入的劑量為0.2×10e174.2×10e17ions/cm2;將已完成注入的陶瓷置于化學鍍鍍液中直接進行化學鍍銅或鍍鎳或鍍鐵。本發(fā)明將離子注入與化學鍍有機地結(jié)合起來,離子注入與欲鍍層金屬相同的金屬離子,形成的鍍層均勻、孔隙率小,外觀良好,提高了鍍層與基體的結(jié)合強度;工藝過程簡單,不產(chǎn)生二次污染;不需要注入貴金屬,節(jié)約貴金屬,降低了成本,提高了鍍覆效率。

離子注入銅、鎳作為在陶瓷表面化學鍍銅的預處理工藝.pdf
 

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