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【專利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)?】200380103962.X
【公開(公告)號(hào)】CN1714438
【申請(qǐng)人(專利權(quán))】因芬尼昂技術(shù)股份公司
【申請(qǐng)日期】2003-11-20 0:00:00
【公開(公告)日】2005-12-28 0:00:00
本發(fā)明提供一種制造方法，特別是在該制造方法中可形成一接觸孔(18)至一絕緣層(16)中的一互連(14)；接著涂布一阻障層(20)；然后，涂布、輻照并顯影一光阻層(30)。接著藉由電鍍方法的輔助，在該接觸孔(18)中形成一銅接觸(32)；該阻障層(20)或是另外的一邊界電極層(22)作為該電鍍方法中的一邊界電極。藉由此方法可在制程中將關(guān)鍵的金屬污染保持最低。
