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結(jié)論
濺射功率為210 W，襯底溫度120 ℃，濺射時(shí)間20 min時(shí)，在AlMn合金上制備的IT0薄膜主要生成In203、InxSnyOz、InAIMn04、MnSn03等物相，薄膜與基體結(jié)合良好，薄膜納米晶粒細(xì)小。制備上IT0薄膜后，AlMn合金顯微硬度提高，并且具備一定的耐磨損和耐腐蝕能力。
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[編輯：吳定彥]
鋁錳合金表面直流反應(yīng)磁控濺射制備氧化銦錫薄膜：前言
